丹佛斯变频器显示ERR 16内部短路故障时，按以下步骤进行检查：

1. 首先对变频器进行复位，并检查参数是否正确。
2. 确认参数无误后将变频器断电，然后检查变频器输入端及输出端对地及相间是否存在短路
3. 检查电机电缆线对地是否短路
4. 检查相间是否短路
5. 使用兆欧表检测电机对地阻值。
6. 带制动机型检查制动电阻是否短路及接地。